低溫滅菌方法是利用化學滅菌劑殺滅病原微生物的方法。常用的有環氧乙烷氣體滅菌、過化氫低溫等離子體滅菌、低溫甲醛蒸汽滅菌。壞氧Ｚ烷與體滅菌環氧乙烷是一種無色氣體，低濃度時無味。其氣體穿透力強，對微生物的蛋白質、ＤＮＡ、ＲＮＡ產生非特異性的烷基化作用，使其失去新陳代謝的基本反應基而被殺滅，殺菌力強，殺菌譜廣，滅菌效果可靠，對滅菌物品損害較小等。環氧乙烷氣體滅菌適用于不耐熱、不耐濕的診療器械、器具和物品的滅菌，如電子儀器、光學儀器、紙質制品、化纖制品、塑料制品、陶瓷及金屬制品等診療用品，不適用于食品、液體、油脂類、粉劑類等滅菌。

環氧乙烷滅菌包括預熱、預濕、抽真空、通入氣體環氧乙烷達到預定濃度、維持滅菌時間、清除滅菌柜內環氧乙烷氣體、解析滅菌物品內環氧乙烷的殘留等過程。環氧乙烷氣體為易燃易爆、有毒氣體，在使用時需注意做好自我防護，嚴格按照滅菌器操作要求進行操作，違規操作將造成有毒氣體泄露，不但會造成人員身體傷害并存在爆炸及火災危險。環氧乙院氣體滅菌需根據滅菌物品的種類、包裝、裝載量與方式不同，選擇合適的溫度、濃度和時間等滅菌參數，滅菌物品需保證清潔干燥，避免過量裝載，以免造成滅菌失敗。